Högprecisions vakuummätare - 1000 ... 500 Torr / mbar
INFICON SKY CDG100D manometrar är ditt bästa val för noggrann totaltrycksmätning och kontroll. CDG100D-mätare är temperaturreglerade vid 100 °C för överlägsen prestanda i krävande halvledar- och plasmaprocesser. De finns tillgängliga för fullskaleresultat från 100 mTorr till 1000 Torr, med alla vanliga flänstyper och fältbussgränssnitt och ger en linjär 0 till 10 V, gastypoberoende, trycksignal. INFICON kapacitansmanometrar använder en ultraren alumina-keramisk membran som är korrosionsbeständig. Fördelarna med den keramiska sensorn är bättre signalstabilitet, snabbare återhämtning från atmosfären, kort uppvärmningstid och en extraordinär livslängd. INFICON CDG är högkvalitativa, kostnadseffektiva trycksensorer för krävande halvledar-, plasma- och vakuumapplikationer.
med EtherCAT digitalt gränssnitt tillgängligt nu!
(1) Icke-linjärhet, hysteres, upprepbarhet vid 25 °C omgivningstemperatur utan temperaturpåverkan efter 2 timmars drift.
(2)...
Noggrannhet (1):0.2
vid noll:0.0025
vid spännvidd:0.02
Tryck, max.:400
Upplösning:0.003
Lägsta avläsning:0.01
Lägsta föreslagna avläsning:0.05
Lägsta föreslagna kontrolltryck:0.5
Drift (omgivning) (5):+10 … +50
Bakning vid fläns:≤110
Lagring:–20 … +65
Försörjningsspänning:+14 … +30 VDC eller ±15 V (±5%)
Under uppvärmning:≤15
Vid driftstemperatur:≤10
Utgångssignal (analog):0 … +10
Svarstid (2):30
Skyddsnivå:IP 40
CE-överensstämmelse:EN 61000‑6‑2/-6-3, EN 61010 & RoHS
ETL-certifiering:UL 61010‑1, CSA 22.2 No.61010‑1
SEMI-överensstämmelse (5):SEMI S2
Elektrisk anslutning:D-sub, 15-polig, hane
Antal inställningspunkter:2 (SP1, SP2)
Reläkontakt:≤30
Protokoll:RS232-C
Läsa:tryck, status, ID
Ställa in:inställningspunkter, filter, nolljustering, fabriksåterställning, DC-offset
Material som exponeras för vakuum:Aluminiumoxidkeramik (AI 2O 3), rostfritt stål (AISI 316L (4))
I. volym 1/2'' rör:4.2 (0.26)
I. volym DN 16 ISO KF:4.2 (0.26)
I. volym DN 16 CF-R:4.2 (0.26)
I. volym 8 VCR®:4.2 (0.26)
Vikt 1/2'' rör:837
Vikt DN 16 ISO KF:852
Vikt DN 16 CF-R:875
Vikt 8 VCR®:897
Protokoll EtherCAT:protokoll specialiserat för EtherCAT
Kommunikationsstandarder:Vakuumtryckmätare